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用不同极性面外延不同的材料会表现出不同的性质

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bob综合:用不同极性面外延不同的材料会表现出不同的性质

bob综合: 发布日期:2021-02-24 00:00 来源: 点击:

常用的4H-SiC和6H-SiC的空间群都是P63mc,可以一眼看出点群是6mm。6mm属于10个极性点群(1,2,3,4,6;m,3m;mm2,4mm,6mm)中的一个,所以4H-SiC和6H-SiC是极性晶体。所谓极性晶体,是指一块晶体中至少有一个方向与其相反方向具有不同的性能,可以是电性能(热电性能、铁电性能)、生长性能等。

根据纽曼定律:物理性质的对称性要高于晶体的对称性。这种不对称的极性,是由于晶体内部微观的电偶极子在这个方向取向一致或趋于一致,没有相互抵消。这个方向被称为极轴,而极轴对应晶面为极性面。

首先影响的是生长。极性晶体的极性面的生长速率是不同的,一般正极性面的生长速度要大于负极性面。值得注意的事情是,一个晶体可以有多个极性方向、多组极性面。

而生长继续影响性能。SiC器件一般采用硅面进行外延生长,其衬底的底面是碳极性面。事实上,在文献N型SiC极性面对欧姆接触性质的影响中提到,用不同极性面外延不同的材料会表现出不同的性质。


单晶材料的制备方法

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